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            多晶硅氣力輸送技術應用實例分析

            • 宏工網絡部
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            氣力輸送是一種在封閉環境中將物料從一端運輸到另一端的技術。在整個過程中,材料不會與外部環境接觸,具有良好的密封性。因此,本階段建議采用氣力輸送技術進料,從根本上消除這些危害。


            多晶硅的生產工藝是將氯化氫與工業硅粉在高溫下反應生成三氯氫硅。三氯氫硅經精煉提純后,在還原爐中通過化學氣相沉積反應可制備高純度多晶硅。在三氯氫硅合成階段,傳統的方法是通過提升將工業硅粉送入料斗。該作業的缺點是生產效率低,勞動強度高,粉塵污染對工人和生產車間環境也有很大的危害。

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            一、選擇合適的輸送方式

            1.根據粉狀物料的特性、輸送管道系統的特性進行選擇(包括管道長度、提升高度、傾角、彎頭角度、數量等)和輸送壓力。研究人員測試了硅粉的休止角約為35°,休止角為30°-38°時,散裝材料可以自由流動。硅的莫氏硬度約為7。盡管莫氏硬度大于6的材料適用于氣力輸送,但其磨損嚴重輸送管道。根據硅粉的物理性質和類似物料的氣力輸送經驗,硅粉適用于低速密相正壓氣力輸送。


            二、密相氣力輸送原理

            密相正壓氣力輸送分為:ic壓力輸送與“湍流輸送”.紊流輸送是將物料與倉泵內的輸送氣體充分混合,然后通過管道加壓輸送,只要保證一定的流量,物料不會在輸送管道中造成堵塞,系統就可以連續運行,從而提高輸送效率高,是目前正壓密相氣力輸送的主要輸送方式,硅具有很強的氧化性,當硅處于粉末狀態時,在空氣中具有爆炸性,為了保證氣力輸送的安全,避免硅粉末表面氧化,保持其良好的活性,使用氮氣作為硅粉輸送的氣源,可由廠內制氮站提供,也可外購壓縮氮氣。

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            三、工藝流程

            硅粉氣力輸送過程中,硅粉首先由氣力輸送罐tr輸送至硅粉儲料倉uck.罐車與工廠供應的氮氣氣源連接后,硅粉被壓入硅粉儲料倉,在料倉下部設置兩套氣力輸送系統,料倉內硅粉通過氣力輸送d送至工廠接收料斗設備。正常運行時,兩個氣力輸送系統分別向兩個不同的接收料斗供應粉末,但兩個系統通過閥門相互連接,互為備用。當一個系統發生故障或維護時,另一個系統可以向兩個不同的接收料斗供應粉末。整個氣力輸送系統成型工藝由稱重計量系統、物料輸送系統和控制系統組成。


            該套硅粉氣力輸送裝置在多晶硅廠技改工程中安裝實施后,實現了硅粉的自動投料,運行安全可靠可靠,整個輸送過程密閉,物料不泄漏,污染小,提高了工廠的生產效率和管理水平,改善了車間的生產環境。


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